在使用扩散泵的真空系统中，还有一个反扩散的问题。在扩散泵中气流不仅发生在抽气方向上，而且有少量的气体分子沿蒸气流的反方向流动，发生由低真空端向高真空端的扩散，这种现象叫做反扩散。反扩散的程度与扩散泵的压缩比有关，压缩比越大，反扩散越小，而压缩比又与气体质量有关。轻的气体，压缩比P 出/P入 要比重的气体小得多。对四级扩散泵P 出/P入 约为107-106对高真空系统来说，反扩散的影响并不重要，但对超高真空系统就必须考虑反扩散对极限真空的限制。如果采用扩散泵获得极高真空，就要将两个扩散泵串联起来，这样前级扩散泵降低了主扩散泵的出口压力，因而降低了主泵的反扩散。雅之雷德机电科技实验证明，用这种方法可以改善极限真空。